在电子元器件可靠性测试中，内应力是一个重要的参数，它能够反映元器件的内在质量和使用寿命。为了更准确地测定内应力，内应力测量仪应运而生，成为了电子元器件可靠性测试的得力助手。内应力测量仪主要依据X射线衍射原理来测定电子元器件中的内应力。在测定过程中，X射线照射到待测元器件上，元器件中的晶体结构会反射出特定的X射线衍射角度，通过测量这些角度的变化可以计算出内应力的大小。