日本Lasertec共聚焦显微镜在Si基板上透明薄膜的表面凹凸形状测定

日本Lasertec共聚焦显微镜在Si基板上透明薄膜的表面凹凸形状测定概要基板上涂覆透明膜的样品，其表面形状经常用激光显微镜或干涉仪测量。但是受到基板反射光的影响，1um程度（或更薄）的透明膜的表面形状难以测定。这里介绍基于反射分光膜厚测试的，Si晶圆上光刻胶的表面形状测试案例。绪论对于树脂类、金属类制品等，其表面的几十纳米的凹凸形状，通常可以用共聚焦显微镜测试。但是对于金属等高反射率基板上的薄膜表面的形状测试，在基板反射率明显高于薄膜反射率时，经常无法正确测定。例如，考虑如...

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硫系玻璃应力双折射检测方案

几十年来，硫系红外玻璃（硫属化合物）一直被认为是“稀少品种”。对于依赖于红外波段的数量很小的一部分应用，现有的其他红外材料能够很好地满足应用，因此，市场对硫系玻璃的需求相当有限。随着一系列潜在应用的出现，以及人们对更小、更轻、且不需要昂贵的内部冷却系统的红外设计越来越感兴趣，使人们对硫系玻璃产生了新的兴趣。因此，我们看到了新的市场需求、高质量硫系玻璃产品随之增多，产品的技术说明也更加全面几年前，大多数红外系统一般只应用于军事和工业领域。如今红外成像系统的应用已经逐步拓展到其他...

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应力双折射测量装置的问题答疑（导入前）

Q:无法衡量压力？A:我们正在测量的是延迟（相位差）。在光弹性效应中，当将应力和厚度施加到每种材料的光弹性常数时，会发生延迟。数据处理选项还具有输入光弹性常数和厚度并以应力为单位显示它们的功能。但是，它受形状的影响，因此我们不能保证数值。Q:不能测量折射率分布（折射率差）吗？A:我无法衡量。我们测量的不是折射率的值，而是取决于偏振方向的折射率差。Q:你可以测量甚至是半透明的吗？A:这取决于程度。要求进行演示评估以亲自体验。请事先了解，测量值可能会因半透明程度而有所不同。Q:分...

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日本PHL公司双折射（应力）测量仪原理及特点

透明物体由于不均匀冷却或其他如受机械作用等原因，其内部会产生内应力，引起双折射，晶体物质本身具有双折射的光学特征。应力双折射仪采用偏振光电矢量合成及光学补偿原理，通过对样品的光程差的定量测定，确定样品应力双折射的大小。日本PHL公司应力双折射仪的原理：当光穿透具有双折射特性的透明物质时，光的偏光状态会产生变化。换句话说，比较光穿透物体前之后的偏光状态，即可评估物质的双折射。该设备装配的偏光感应器，使用了日本PHL公司*的光子晶体技术组装而成的偏光感应器，能瞬间将偏光资讯以影像...

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液晶面板行业的配向膜（PI）的配向角度的检测

随着技术的发展，光学薄膜的光学性能也在厂家的不断提高，市场需要更好的产品，其中在液晶面板吃起的成产中，也液晶贴的的一层膜的配向角度的优良很大程度上影响生产出来的液晶面板的显示效果的好坏。关于如何了解这一层配向膜（PI）的配向角度，研发人员一直没有合适设备来测量，近期，日本的phl厂家带来一款通过测量双折射的方法来检测配向角度的设备。测量示例：通过WPA-200的检测，可以知道产品的双折射大小和方向，内应力的分布情况，在经过分析得到数据。

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