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LIMO BTS光束传输系统

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  • 访问次数:1968
  • 更新时间:2023-08-30
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LIMO光束传输系统、LIMO LD Bar BTS光束传输系统、LIMO光束传输系统简介:德国Limo公司是世界*的微光学(Micro-optics)产品和半导体激光器(Diode Laser)的供应商,其微光学技术是业内*的世界*,微光学产品的应用涵盖半导体激光准直、耦合透镜;激光微细加工光束的整形镜;光刻机上的核心光束均匀化物镜。LIMO BTS光束传输系统

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LIMO BTS光束传输系统的简介

德国Limo公司是世界*的微光学(Micro-optics)产品和半导体激光器(Diode Laser)的供应商,其微光学技术是业内*的世界*,微光学产品的应用涵盖半导体激光准直、耦合透镜;激光微细加工光束的整形镜;光刻机上的核心光束均匀化物镜。


LIMO BTS光束传输系统传输系统主要功能是将二极管Bar输出的不对称的光束转变为基本对称光束,这样就可以使用一个对称聚焦的集成光束镜去准直或聚焦这束光, LIMO的快轴准直器有以下多种型号可供选择。


的技术指标

发光尺寸/周期(um)

快轴发散角(FW@1/e2)

波长范围(nm)

产品型号

150/500

<8mrad

790-990

BTS-123

150/500

<12mrad

790-990

BTS-106

200/400

<12mrad

790-990

BTS-101

150/500

<15mrad

790-990

BTS-109

100/500

<6mrad

790-990

CBTS-475

150/500

<8mrad,<12mrad,<15mrad

600-1600

CBTS


主要特点:

BTS(光束转折器)能够将非常不匀称的远场发射光整形成几乎圆形的光斑,并使用HOC将一束均匀光进行聚焦。

另外Limo公司还提供紧凑型的BTS,这种紧凑型的BTS使得占地面积更小,提高费用的利用率。


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