应力双折射测量仪的核心组成装置

　　应力双折射测量仪凭借精准高效的检测能力，成为透明材料应力分析的核心设备，其性能优势源于多系统协同配合的合理架构。整套装置由光学系统、机械承载系统、电控与数据处理系统三大核心模块组成，各部分精准适配，共同实现应力双折射大小、方向及分布的快速自动测量。

　　1.光学系统是设备的核心检测单元，决定测量精度与速度。核心部件为自研光子晶体偏光图像传感器，无需传统旋转光学滤片机构，可瞬间捕捉偏振光信息并转化为影像数据，这是其快速测量的关键。搭配高稳定性光源模块，采用520nm固定测量波长，部分型号支持三波长切换，能适配0-3500nm相位差测量需求。同时配备大口径远心镜头，以垂直光线投射实现无视觉干扰测量，连样品边缘区域也能精准捕捉信号，配合起偏器、检偏器构建完整偏振光光路，确保光线传播稳定性。

　　2.应力双折射测量仪机械承载系统为测量提供稳定支撑，适配多样样品需求。核心为XY自动移动平台，可实现大尺寸样品的自动拼接测量，如φ8英寸晶圆仅需5分钟即可完成整面扫描，大幅拓展测量范围。样品台采用高精度定位结构，支持样品平稳放置与微调，部分型号配备调平脚，可校准设备水平度避免测量偏差。箱体采用防干扰设计，减少外界振动与光线对光路的影响，同时预留合理操作空间，便于样品取放与日常维护。

　　3.电控与数据处理系统实现自动化操控与精准分析。搭载高性能微处理器，连接高清CCD相机与传感器，可快速采集全视野图像数据，单次测量仅需数秒即可完成信号转换。配备人性化操作终端与专用软件，支持点、线、面、3D多维度分析，能自动输出光程差、偏振角度、应力值等参数，生成二维分布图谱与彩色云图。系统支持数据存储、导出与对比功能，部分型号具备远程物联接口，同时集成故障报警模块，确保设备稳定运行。

　　4.三大组成装置协同发力，使PHL应力双折射测量仪兼具速度与精度优势。无复杂运动部件的精简设计降低了故障概率，模块化架构便于维护与功能升级，适配光学薄膜、半导体晶圆、汽车透明件等多场景检测需求，为科研与生产中的应力分析提供可靠设备支撑。